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ALD/CVD前驅體材料
ALD/CVD前驅體材料

  • 二甲基二甲氧基硅烷

  •

    四（二甲氨基）鈦

  •

    正硅酸乙酯

  •

    四氯化鈦

  •

    雙(叔丁氨基)硅烷

  •

    雙(二乙氨基)硅烷

  •

    電子級三甲硅烷基胺

  •

    六氯乙硅烷

  •

    八甲基環四硅氧烷

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